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             ZZD電阻蒸發(fā)鍍膜系列 
            
						
            
						
            
							
            作者：甘肅真空設(shè)備有限公司時(shí)間：2022-09-22點(diǎn)擊：3639次
            
						
            
						
            
							
            ※　系列產(chǎn)品參數(shù)
            型號(hào)項(xiàng)目
            ZZD-1000
            ZZD-1400
            ZZD-1600
            ZZD-2050
              真空室規(guī)格　　　mm
            Φ1000×1500
            Φ1400×1900
            Φ1600×2100
            Φ2050×2900
              極限壓力　　　　Pa
            1×10-3
              工作壓力　　　　Pa
            2×10-2
              恢復(fù)真空時(shí)間　　min
            ≤10 （從大氣至2×10-2Pa）
              壓升率　　　　　Pa/h
            ≤0.3
              離子轟擊源　　　KVA
            4
            4
            12
            20
              蒸發(fā)源Ⅰ　　　　KVA
            15
            20
            25
            40
              蒸發(fā)源Ⅱ　　　　KVA
            15
            20
            27/18
            45
              蒸鍍材料
            Al和SiO2/MgO2
              工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式
            公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)（無(wú)級(jí)調(diào)速）
              工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)
            6
            10
              控制方式
            PLC
            PLC/PLC+計(jì)算機(jī)
              冷卻水量　　　　m3/h
            5
            5
            7
            9
              總功率　  KW　　　　　
            ～60
            ～85
            ～120
            ～200

            型號(hào)項(xiàng)目
            ZZD-1000
            ZZD-1400
            ZZD-1600
            ZZD-2050
              真空室規(guī)格　　　mm
            Φ1000×1500
            Φ1400×1900
            Φ1600×2100
            Φ2050×2900
              極限壓力　　　　Pa
            1×10-3
              工作壓力　　　　Pa
            2×10-2
              恢復(fù)真空時(shí)間　　min
            ≤10 （從大氣至2×10-2Pa）
              壓升率　　　　　Pa/h
            ≤0.3
              離子轟擊源　　　KVA
            4
            4
            12
            20
              蒸發(fā)源Ⅰ　　　　KVA
            15
            20
            25
            40
              蒸發(fā)源Ⅱ　　　　KVA
            15
            20
            27/18
            45
              蒸鍍材料
            Al和SiO2/MgO2
              工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式
            公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)（無(wú)級(jí)調(diào)速）
              工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)
            6
            10
              控制方式
            PLC
            PLC/PLC+計(jì)算機(jī)
              冷卻水量　　　　m3/h
            5
            5
            7
            9
              總功率　  KW　　　　　
            ～60
            ～85
            ～120
            ～200