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            JPTD　磁控鍍膜系列
            
						
            
						
            
							
            作者：甘肅真空設備有限公司時間：2022-09-22點擊：2885次
            
						
            
						
            
							
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              ※　系列產品參數
            型號項目
            JPTD-1000L
            JPTD-1000LA
            JPTD-1000LC
              極限真空度　　　Pa
            5.0×10-3（清潔、干燥、空載）
              恢復真空時間　　Pa
            18（從大氣～10-2Pa）
              基材
            PET、PVC、PE等
              有效鍍幅　　　　mm
            500
            650
            800
              最大卷徑　　　　mm
            Φ300
              鍍膜速度　　　m/min
            ITO靶0.5～1.5m/min 其它靶 5m/min(max)
              磁控靶數目 　 　只
            5
            6
            8
              靶材　　　　
            銦錫合金（黃銅、紫銅、鎳、鈦等選用）
              濺射壓力　　　　Pa
            1～0.1
              濺射電壓　　　　V
            300～600（D.C）
              工作氣體
            Ar、 O2純度99.99%
              最大需用功率　　KVA
            52
            55
            78
              冷卻水量　　　　t/h
            5　　　?。ㄈ肟趬毫?.15～0.2MPa，進水溫度25℃以下）
              占地面積 　　　 　mm
            6850×5020×2600
            7000×5020×2600
            7250×5020×2600