極限壓力 　 　　Pa

≤5×10^-5

  抽氣速率 　   　L/s

≥300

≥800

≥21000

≥35000

≥45000

  臨界前級壓力　　Pa

≥30

≥40

  加熱功率  　　　kW

0.55

0.95

8.4

22

24

  電源電壓  　　　V　

220

380

  冷卻水用量　　　L/h

100

140

1230

1546

1900

  泵油牌號

KS-3或275#硅油

  泵油用量　　　　L

0.15

0.4

10

15

20

  推薦前級泵抽速　L/s

4

8

150

300

300

  外形尺寸 （L×W×H）

253×218×327

345×240×492

1520×920×1480

1200×1490×1900

2200×1400×2465

  重量 　　 　　kg

11

23

550

1060

1430