極限真空度　　　Pa

5.0×10^-4 （清潔、干燥、空載）

  恢復(fù)真空時(shí)間　　Pa

18（從大氣～10^-2Pa）

  基材

PET、PVC、PE等

  有效鍍幅　　　　mm

800

1200

2000

  最大卷徑　　　　mm

Φ350～Φ600

  鍍膜速度　　　m/min

0.5～10

  磁控靶數(shù)目 　 　只

3～5

  靶材　　　　

ITO、鋁、銅、鎳、鈦、二氧化硅等

  濺射壓力　　　　Pa

1～0.1

  濺射電壓　　　　V

300～600（D.C或MF）

  工作氣體

Ar、 O₂純度99.99%

  氣體流量控制方式

質(zhì)量流量控制器