950

950

950

950

950

950

850

850

850

850

850

850

φ700×1100H

φ850×1100H

φ1200×1700H

φ850×1100L

φ950×1100L

φ850×700L

75

140

280

140

160

300

±5

±5

±5

±5

±5

±5

3

3

4

3

3

6

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

鉬帶

鉬帶

鉬帶

鉬帶

鉬帶

鉬帶

≤60

≤60

≤60

≤60

≤60

≤60

5×10^-4

5×10^-4

5×10^-4

5×10^-4

5×10^-4

5×10^-4

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

2×10^-3

≤15

≤15

≤15

≤15

≤15

≤15

0.4

0.4

0.4

0.4

0.4

0.4

200

350

350

500

350

1000

自然冷卻

自然冷卻

自然冷卻

自然冷卻

自然冷卻

外循環強制冷卻

-0.025

-0.025

-0.025

-0.025

-0.025

0.1～0.2

工控/PLC智能控溫儀，可選擇控制方式

高純干燥Ar，供氣壓力0.2～0.3MPa

進水溫度≤32℃，供水壓力0.2～0.3MPa，可選擇開啟式或封閉式回水方式

無油干燥，供氣壓力0.5～0.6MPa

100

180

350

180

200

450

950

950

950

950

1000

1100

800

800

300～850

300～850

300～900

650～950

φ850×12000L

φ1000×16000L

1700×1300×5200

1700×1300×5400

1700×1300×6000

φ500×4500L

1500

1800

27600

37900

27200

800

600

900

990

1180

1290

375

±3

±3

±5

±5

±5

±4

12

9

12

14

14

3

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

碳氈

碳氈

不銹鋼

鎳鉻帶

鎳鉻帶

鎳鉻帶

鎳鉻帶

鎳鉻帶

鉬

95瓷

95瓷

95瓷

95瓷

95瓷

95瓷

≤60(爐溫25℃至800℃)

≤60(爐溫25℃至800℃)

≤180

≤180

≤180

≤60(爐溫25℃至1100℃)

5×10^-4

5×10^-4

8.5×10^-4

1×10^-3

6.7×10^-4

4×10^-4

2×10^-3

2×10^-3

6×10^-3

6.7×10^-3

5×10^-3

4×10^-3

≤15(大氣至2×10^-2 ）

≤15(大氣至2×10^-2 ）

≤40(大氣至2×10^-2 ）

≤40(大氣至2×10^-2 ）

≤30(大氣至2×10^-2 ）

≤15(大氣至1.2×10^-2 ）

0.4

0.4

0.67

0.67

0.4

0.4

75

75×2

75×2

75×2

30

外循環強制冷卻

自然冷卻

外循環強制冷卻

外循環強制冷卻

外循環強制冷卻

外循環強制冷卻

0.1～0.2

0.1～0.2

≤0.05(標準狀態)

≤-0.002(標準狀態)

≤0.05(標準狀態)

0.1～0.2

工控/PLC智能控溫儀，可選擇控制方式

高純干燥Ar，供氣壓力0.2～0.3MPa

進水溫度≤32℃，供水壓力0.2～0.3MPa，可選擇開啟式或封閉式回水方式

無油干燥，供氣壓力0.5～0.6MPa

800

1130

1160

1440

1550

465